熱式氣體質量流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優良、可靠性高的技術。熱式氣體質量流量計有兩個溫度傳感器被置于介質中時，其中一個傳感器被加熱到環境溫度以上的的溫度，另一個溫度傳感器用于感應介質溫度。介質流速增加，介質帶走的熱量增多，兩個溫度傳感器的溫度差將隨介質的流速變化而變化，根據溫度差與介質流速的比例關系，可得出流體的流量Q。熱式氣體質量流量計目前絕大部分用于測量氣體，只有少量熱式氣體質量流量計用于測量微小液體流量。

熱式氣體質量流量計的特點：

1、無可動部件，密封面減少，大大降低泄漏率，便于安裝和日常維護;

2、測量范圍寬，測量范圍可達20:1(液體)或30:1(氣體);

3、計量準確、精度高，法蘭式可達0.2%(液體)或0.5%(氣體);

4、靈敏度*高，能測量超小流量，其可測量低流速為0.08m/s，電磁流量計0.5m/s;

5、重復性好，一般為0.05~0.08%,具有可選小信號切除，非線性修正，濾波時間可選擇;

6、壓力損失小，小口徑僅為標準孔板的1/2△P左右;DN100口徑以上壓力損失開始大幅度減少;

7、標定方便，除可采用標準裝置檢定外，還可采用干式標定方法，即采用砝碼掛重法，單鍵操作即可完成標定;

8、可根據實際需要更換阻流件而改變流量范圍，在線可拆裝插入式結構可實現不停產，不斷流維修或更換;

9、低功耗電池現場顯示，能在線直讀示值，顯示屏可同時讀取瞬時流量累積流量及百分比棒圖，并可切換顯示補償溫度及補償壓力示值;

10、抗干擾、抗雜質能力特強，多種輸出形式，能遠傳各種參數，使用無需拌熱。

11、測量氣體無需溫度壓力補償，可直接顯示標況體積流量。